技术服务

一、技术积累

我们在薄厚膜结合固体电解质气体传感器、MEMS半导体气体传感器工作机理与制作工艺、薄膜材料制备工艺与性能之间的关系、气体传感器微型化中的关键技术、气体传感器性能测试等方面积累了丰富经验。所研制的微型气体传感器可满足环境保护、工业废气监测、农业生产、仓室气体监测等领域的应用,具有体积小,功耗低、响应迅速、重复性好、封装简便、便于集成、易于批量生产等优点,可对CO2,O2,SOx等气体进行实时高精度测量。

 

二、技术服务内容

   凭借一流的科研设备和长期的研究积累,我们能够为您提供型微型气体传感器的研究开发、传感器应用、技术咨询、微型气体传感器小批量试制等相关技术服务。

     Ø厚膜工艺、MEMS工艺微加热板、加热器的定制 

     Ø气体测试平台设计、加工 

     Ø薄厚膜工艺结合的微型固体电解质气体传感器设计方法与制造 

     ØMEMS半导体气体传感器设计方法与制造 

     Ø微型气体传感器小批量生产

     Ø基于Labview脉冲温度控制及信号采集系统

                                     

                                             图1  厚膜工艺微加热器实物图                                                                                                             图2  厚膜工艺微加热器工作热像图(正反面)

 

                                                                                    
                                             图3  薄膜工艺微加热器SEM像与实物图                                                                                       图4  薄膜工艺微加热器工作热像图(中心红点)
 
                                                                                                                          
                                             图5  集成气体传感器结构示意图                                                                                                               图6  固体电解质气体传感器实物图
 
                                                                                                             
                                          图7 MEMS半导体气体传感器结构示意图                                                                                               图8  MEMS半导体气体传感器实物图 
 
                                                                                      
                  图9 针对MEMS半导体传感器的温度控制和信号采集系统                                                                                      图10  自行开发的气体及温湿度测试平台
                                                          
                                                           

                                                                                                               

 
       

 

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